近日，松山湖材料实验室微加工与器件平台顺利通过ISO9001质量管理体系资质认证。这张进入更广大市场的“通行证”，意味着实验室可为高校、科研机构和公司可以提供稳定、标准、有品质的半导体材料与器件的设计开发和加工服务，是对微加工与器件平台管理上的水准、加工技术和服务的品质达到国际标准的综合认可。

  ISO9001质量管理体系是一套由国际标准化组织提出、各国企业广泛认可、具有国际权威性和通用性的整体管理体系和标准。

  “我们在对接周边企业时，企业多次谈及批量加工的需求，而承接批量订单的前提，就是要求我们平台与该企业有着同样的品质衡量准则。”有着多年企业高管经验的微加工与器件平台骨干负责人汪洋博士坦言，除了先进的仪器设施和专业的技术团队，一套科学规范的管理体系能够为平台更好地服务于科研与产业保驾护航。

  今年1月以来，该平台建立了适用于ISO质量体系运行的组织构架，颁布了平台级质量手册，并拟定了多项程序文件、作业规范及表单记录，对平台全体成员展开多轮培训，经过九个月的运行实践和持续优化，最终通过了第三方认证机构的审核，全员参与的全过程管理模式渐已形成。

  “科学的管理体系是保证工艺技术能够稳定、一致、可靠的前提，这个基础务必夯实。”平台负责人贾海强研究员在化合物半导体器件工艺研究、重点项目以及产业化技术转移方面有着非常丰富经验，他表示，“随着平台建设与能力提升，陆续有新的工艺设备通过验证、投入到正常的使用中，需要同步做好工艺质量把控工作，不断将新设备、新工艺纳入到质量体系范畴中来。”

  随着粤港澳大湾区国际科学技术创新中心的推进建设和大湾区综合性国家科学中心先行启动区（松山湖科学城）的全面启动，科技与产业对接、转化的新模式、新业态不断涌现。

  例如，一些新兴科技公司，拥有自主技术、特定产品应用场景和供销渠道，但在成立初期尚不能搭建产线，往往会采用轻资产模式运行，其生产制造环节相对薄弱；而平台设备工艺能力就是这种运营模式的基础支撑和重要补充。

  “利用好平台资源为这些新兴需求提供更有品质的服务，我们从始至终在践行探索。我们将持续打造在半导体材料器件设计及微纳加工领域有一定的影响力的公共技术平台，也欢迎更多有需求的企业和单位前来交流合作。”贾海强研究员展望道。

  作为实验室开放服务的公共技术平台之一，微加工与器件平台现有超净实验室面积超1000平方米，对外共享仪器设施达48台/套，研究团队42人，其中研究员与高级工程师8人、工程师与助理工程师12人。自2020年9月正式对外开放运行以来，累计服务了50家单位88个团队，注册用户500余人。

  立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业高质量发展趋势，松山湖材料实验室微加工与器件平台正在加速建成集先进材料加工、器件工艺制备及特殊工艺开发为一体的综合性研发平台，可为微电子器件、光电子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，实现新材料从微米到纳米甚至原子级别的结构与器件的可控加工与测试，为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。